新一代分析电镜MERLIN FE-SEM的发布

Carl Zeiss发布了一系列创新产品，内有一款 新一代分析场激发扫描电镜MERLIN。这个设备具有目前备受争议的超高分辨率成像和分析功能。“用户不仅仅需要高分辨率图像，” 蔡司董事会成员Dr. Dirk Stenkamp解释说“因为具有独特的分析能力，我们的设备能提供Zui全面的信息”。
MERLIN –集分析和高分辨为一体

MERLIN FE-SEM 克服了图像分辨率和分析能力之间的冲突，MERLIN的核心在于加强了GEMINI II柱，带双聚光镜，同时分辨率达到0.8纳米。 样品电流达到300纳米时，可用于能量和波长色散X光光谱法分析、背景散射电子的衍射分析或阴极发光光谱的产生。

系统支持用户完成一系列原先不能做的工作，因此被Carl Zeiss 称为“完全检测系统”。系统包括为表面成像设计的内镜SE检测器，为材料对比设计的内镜EsB检测器和为色散背景散射电子设计的AsB检测器。后者含有晶体定位的特定信息。

MERLIN独特的电荷补偿系统还允许非导电性样品的高分辨成像，通过注射氮气，聚集在样品表面的电子都被驱走，做完这个，完全检测系统MERLIN就开始工作了。在电荷补偿方面，系统的另一个改进时有个纯氧通道用于样品的原位清洁。真空室常有的碳沉积物通过样品表面去除，因而会产生一些衬度大的图像。这两个选择都能保证用户集中在样品的成像和分析上，而不是在样品准备上浪费时间和金钱。 The unique MERLIN的新电子系统允许设备的配置灵活，额外的检测器可被快速翻新。另外，这种灵活性使投资更有未来保证，用户能得利于长期的检测器发展。

“新的MERLIN和新近推出的AURIGA CrossBeam工作站一样，完美的体现了我们产品的特性：Zui大化信息量，Zui大化视觉，” Stenkamp指出。