Veeco的3D共聚焦显微镜VCM
2016-04-29新闻资讯
Veeco共聚焦计量显微镜（缩写VCM™），将Zui新的共聚焦技术、纳米水平测量技术结合于普通的显微镜上，方便实用。具有快速、非接触式的样品三维检测特征，亚微米级的横向分辨率、纳米级的纵向分辨率。VCM共聚焦显微镜为高曲率、陡峭斜率样品的分析，及透明介质或半透明膜的测量提供了理想的解决方案。
VCM 3D共聚焦显微镜有多种型号，从手动到电动：
VCM150- 手动型，适合样品高达150mm（6英寸）；
VCM200– 手动或电动，适合样品达200mm（8英寸）；
VCM300- 手动或电动，适合样品达300 mm（12英寸）。
描述：
碟片共聚焦技术提供精确的样品三维测量，独有的实时观察中“live view”功能；
完全特征化的陡峭斜率测量，可检测高达70°的斜率；
透明层的非接触式分析，完全胜任厚基质上的、或环境室内样品的检测；
灵活、方便，Nikon金相显微镜为平台，可做明视场、暗视场、DIC技术。
参数：
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标准工作距离 |
长工作距离 |
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放大倍数 |
5X 10 X 20 X 50 X 100 X |
20 X 50 X 100 X |
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数值孔径 |
0.15 0.25 0.25 0.80 0.90 |
0.4 0.55 0.8 |
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工作距离（mm） |
18 15 4.5 1 1 |
13 9.8 3.5 |
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显微镜平台 |
Nikon显微镜，明场、暗场，选配DIC |
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光学系统 |
Nipkow碟片 |
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检测 |
彩色CCD |
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光源 |
金属卤素灯 |
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图例：
1. 硅片太阳能电池
2. 共聚焦切片的高深宽比
3. 玻璃上的激光蚀刻微通道