景通精密测量仪器友情提示：
由于该产品已进行多次功能升级和更新迭代，我们不保证VIEW MicroLine 300自动化影像测量仪提供的图片和各项参数等信息均为最新，我们建议您点击此处联系我们的在线工程师为您服务，同时我们也欢迎您电话咨询：!
技术规格：
- 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)
- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放
- 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜)
- 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm
- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜)<0.005µm on photomasks (用100x物镜)
- 照明: 石英卤素灯, 反射光自动照明
- 低噪音CCD VGA格式摄像头
- 图像处理60帧每秒格：
- 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)
- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放
- 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜)
- 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm
- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜) <0.005µm on photomasks (用100x物镜
- 照明: 石英卤素灯, 反射光 自动照明
- 低噪音CCD VGA格式摄像头
- 图像处理60帧每秒
MicroLine 300的典型应用包括：
l 晶圆
l 光罩
l MEMS
l 微型组件
测量类型:
关键尺寸:
线宽 Linewidth
节距 Pitch
间隙 Spacing
Overlay
Multi-layer registration，Box in box，Circle，Edge roughness，Butting erro