技术参数

VMS-1215H大行程全自动影像仪技术参数

一、机台结构:

型号

VMS-0810H

VMS-1012H

VMS-1215H

X/Y轴行程(mm)

800*1000

1000*1200

1200*1500

玻璃台尺寸(mm)

885*1158

1085*1358

1285*1858

外形尺寸(m)

2.17*2.38*1.56

2.37*2.58*1.56

2.57*2.88*1.56

整台重量(kg)

3260

3750

4520

Z轴运动行程

200mm

X/Y轴最大速度

300mm/s

二、光学系统:

变倍镜头

进口 倍率 0.7X~4.5X

光源

表面光源-LED表面环形光源 底光源-LED新型直线光源

光学尺分辨力

0.5μm

X/Y示值误差

(4+L/200)μm

摄像机

彩色1/2"CCD摄像机

激光平面度测量

重复性3μm(选配激光位移器时)

物方视场

11.1mm~1.7mm