Veeco的3D共聚焦显微镜VCM

2016-04-29新闻资讯

Veeco共聚焦计量显微镜(缩写VCM™),将最新的共聚焦技术、纳米水平测量技术结合于普通的显微镜上,方便实用。具有快速、非接触式的样品三维检测特征,亚微米级的横向分辨率、纳米级的纵向分辨率。VCM共聚焦显微镜为高曲率、陡峭斜率样品的分析,及透明介质或半透明膜的测量提供了理想的解决方案。

VCM 3D共聚焦显微镜有多种型号,从手动到电动:

VCM150- 手动型,适合样品高达150mm(6英寸);

VCM200– 手动或电动,适合样品达200mm(8英寸);

VCM300- 手动或电动,适合样品达300 mm(12英寸)。

描述:

碟片共聚焦技术提供精确的样品三维测量,独有的实时观察中“live view”功能;

完全特征化的陡峭斜率测量,可检测高达70°的斜率;

透明层的非接触式分析,完全胜任厚基质上的、或环境室内样品的检测;

灵活、方便,Nikon金相显微镜为平台,可做明视场、暗视场、DIC技术。

参数:

 

 

 

标准工作距离

长工作距离

放大倍数

5X    10 X    20 X   50 X   100 X      

20 X   50 X    100 X  

数值孔径

0.15   0.25   0.25   0.80   0.90

0.4     0.55    0.8

工作距离(mm)

18     15     4.5      1      1

13      9.8     3.5

显微镜平台

Nikon显微镜,明场、暗场,选配DIC

光学系统

Nipkow碟片

检测

彩色CCD

光源

金属卤素灯

 

图例:

  

1. 硅片太阳能电池

2. 共聚焦切片的高深宽比

3. 玻璃上的激光蚀刻微通道